在普通玻璃的一个表面镀上一层氧化铟锡的导电膜，就形成了LCD常用的氧化铟锡玻璃，通常简称为ITO玻璃。

　　基本结构

　　基板：

　　常用的基板厚度有1.1mm;0.7mm;0.5mm;0.5mm,0.4mm

　　根据材料的不同，通常分为钠钙玻璃和硼硅玻璃两种。

　　钠钙型玻璃

　　优点：成本低

　　缺点：含有钠、钾等离子，易产生渗透，影响产品性能

　　硼硅型玻璃

　　优点：玻璃硬度高，透过率好

　　缺点：成本较高

　　钠钙型玻璃基本成分：

　　SiO2层：

　　SiO2层的作用：

　　主要是防止钠钙型基板中的金属离子扩散渗透到ITO层中，影响ITO层的导电能力。

　　SiO2层的膜厚：

　　标准膜厚一般为20-30nm。

　　ITO（indium Tin Oxid）层：

　　为氧化铟锡的透明导电层，其中I表示In2O3，T表示SnO2，一般Sn（即Tin）的含量约为10%。随着ITO层厚度的增加，ITO层的厚度逐渐减小。

　　分类

　　根据基板玻璃表面状态的不同，通常分为以下三种类型：

　　TN：未抛光型，直接在玻璃的浮法面进行镀膜。

　　HTN：简单抛光型/TN精选玻璃，将玻璃的浮法面进行简单的抛光后，在抛光面进行镀膜。

　　STN：超抛光型，将玻璃的浮法面进行精细的抛光后，在抛光面进行镀膜。

　　生产工艺

　　ITO玻璃的生产工艺流程主要分为以下三个步骤：

　　1、切割倒角：

　　2、抛光；

　　3、镀膜

　　注：TN型玻璃不需要抛光，生产工艺流程更简单。

　　切割磨边的工艺流程：

　　磨边类型及规格要求：

　　通常分为C型和R型两种

　　倒角的形状及公差：

　　抛光工艺流程：

　　用研磨料将玻璃表面磨平，使玻璃表面平整。对于STN型ITO玻璃是必须经过的一道生产流程。

　　镀膜工艺流程：

　　镀膜方法：

　　镀膜的方法有：喷雾法；涂覆法；浸渍法；化学气相沉积法；真空蒸发法；测射法，但目前工业化最有效的方法是磁控测射法。

　　磁控测射法：

　　在高真空反应室中充入一定比例的02和Ar的混合气体，在直流高压下，Ar被电离，在电场作用下轰击靶材，使铟和锡以原子和离子形式溅射出来，沉积在基板玻璃表面，同时被氧化，形成氧化铟锡膜。

　　评价参数

　　透过率

　　在波长为550nm的光波照射下，具有SI02阻挡层玻璃的透过率不小于80%，其主要取决于玻璃材料、ITO厚度和折射率。

　　透过率定义：

　　透过玻璃的光透量T2与入射光透量T1之比的百分率

　　Tt=T2/T1X100%

　　方块电阻：

　　d为膜厚，I为电流，L1为膜厚在电流方向上的长度，L2为膜层在垂直电流方向的长度，ρ为导电膜的体电阻率。ρ和d可以认为是不变的定值，当L1=L2时，为正方形的膜层，无论方块大小如何，其电阻率为定值ρ/d，这就是方块电阻的定义，即R=ρ/d

　　平整度

　　平整度可用h/1表示，意思为在长度为L的范围内，表面最高点与最低点的差值为h。

　　ITO玻璃基板平整度参数包括：

　　1、玻璃表面粗糙度；

　　2、基板表面波纹度；

　　3、基板翘曲度；

　　4、基板垂直度‘

　　5、ITO膜表面粗糙度；

　　6、ITO玻璃基板、膜厚均匀度。

　　基板翘曲度

　　用h/L表示（如图），即翘曲的高度与翘起边的长度之比。

　　其中要求如下：

　　1、厚度≥0.7mm的基片玻璃，翘曲度（h/L）≤0.1%

　　2、厚度≤0.55mm的基片玻璃，翘曲度（h/L）≤0.15%

　　3、不允许有S形翘曲

　　基板垂直度：用a/L表示（如图）。用来描述玻璃基板四条边互相垂直的程度。

　　化学稳定性

　　ITO镀膜层的耐化学性能应符合表2中技术要求。

　　a、耐碱性

　　镀层在温度为60±2℃，浓度为10%的氢氧化钠（分析纯）溶液中浸泡5分钟，ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。

　　b、耐酸性

　　在25±2℃，6%盐酸（分析纯）溶液中浸泡2分钟，ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。

　　c、耐溶剂性能

　　将镀膜玻璃放入丙酮（分析纯）、无水乙醇（分析纯）中浸泡5分钟后，ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过10%。

　　热稳定性

　　在空气中经过30分钟300±5℃（触摸屏用ITO玻璃是在200±5℃）高温后，ITO膜的方阻的变化率小于300%

　　附着力

　　用3M交代粘在玻璃表面迅速撕开，ITO层无明显开裂现象。

　　ITO膜面的判定

　　浮法方向：

　　在基板玻璃制造过程中，液态玻璃流动的方向。

　　主要判定方法

　　(1)将万用表打至欧姆档，用探针分别测试两个点，如果显示不“1”，则所测试面为ITO膜面。

　　(2)用方块电阻测试仪测试面电阻，如果显示电阻无穷大，则所测面为非ITO膜面。

　　(3)通过大角设别：以16X14英寸的玻璃为例。

　　常见问题